儀表空氣由清潔干燥狀態的大氣經壓縮而成。大氣的氧濃度為20.6%是常識，理論上講儀表空氣和大氣的氧濃度應該同為20.6%，但實際測量儀表空氣的氧濃度是21%，兩者存在明顯差異，這是為什么呢？其實產生儀表空氣和大氣氧濃度不同的原因是濕度。儀表空氣為清潔干燥狀態，而大氣通常含有相對濕度為70%左右的水份，正是大氣含有水蒸氣才使大氣的氧濃度約降低為20.6%。
舉例說明：常溫(23℃)下的飽和蒸汽壓為0.02864kg/cm2。大氣壓為1.0332kg/cm2，所以相對濕度為100%的空氣中含水蒸氣的體積是：0.02864÷1.0332×100%=2.77%，此時求得的氧氣濃度雖然是20.42%，但由于通常相對濕度約為70%，所以實際濃度應為20.6%。
通過上面的計算不難看出：在需要精確測量氧氣的情況下，必須考慮空氣濕度對儀表測量結果的影響。儀表空氣的氧濃度固定為21%，故儀表空氣常常用作氧化鋯氧量分析儀測量時的參比氣體和校正時的量程氣體。同時，利用這個原理，氧化鋯氧量分析儀也可當做高溫濕度(水份)分析儀使用。
